Machine de dépôt de vapeur d'ions

Dépouillement à vide de pulvérisation de magnétron

1, le dépôt physique de vapeur (PVD) se caractérise par la création d'une vapeur métallique qui peut être réagie avec différents gaz pour former un film mince. Les méthodes PVD les plus courantes utilisées aujourd'hui sont le dépôt d'arc et la pulvérisation cathodique. Les deux procédés sont réalisés dans des conditions de vide poussé dans une chambre de revêtement.
Cette technologie nous permet d'appliquer des revêtements biocompatibles et anti-allergiques pour une variété de dispositifs médicaux, y compris des implants orthopédiques et des instruments chirurgicaux.
2. Avantage: taux de dépôt élevé, taux d'ionisation élevé, fonctionnement facile, haute productivité et faible coût. Pas de gaz résiduaires et d'eau.Magnetron pulvérisant de façon stable à basse température.
3. Modes:
(1) Semi-automatique / Automatisme
(2) Bombardement automatique
(3) Contrôle précis du temps de traitement varié
4. Application: plaques d'acier inoxydable de petite taille, ornements pour hôtels, coupeurs, machines-outils, lunettes, montres, bijoux, écluses, robinets, fraises en carbure, forets et etc. Une large gamme de couleurs pourrait être obtenue.
5. Couleur de revêtement: or, or rose, or noir, café, argent, champagne, multicolore, etc.
6. Film de revêtement: film de nitrure de titane, film de carbure de titane, film de nitrure de zirconium, film en aluminium de titane, nitrure de chrome et autres films métalliques fonctionnels ultra performants.

dimension of  vacuum chamber	700×1000mm	800×1000 mm		900×1000 mm	1000×1000 mm
pumping speed	1×105Pa~3×10-3Pa≤20min
limit vacuum	≤1×10-3Pa
system form a  complete set	KT-600×2-2X-30/2X-70×4(ZLD-300×2)			KT-600×2-2X-30/2X-70×4 (ZLD-300×2)
Work piece system	Rotation of the planet forms(8 roating shaft, since the amount)
heating methods	Edge installation of stainless steel heating tube
ion bombardment	direct current 1000V or contravariant impulse 1000V high voltage bombardment
vent system	Mass flow controller control input gas
arc target amount	20			25
working methods	plc semi-auto control or pc+plc auto control
working gas	Ar N2
total power	120KW		160KW
compress air	0.4~0.8MPa
water-cooling system	hydraulic pressure/water temperature:≤25°C/≥0.25MPa(user provide for himself